Bot Kaki Silicon

Bot Kaki Silicon Semicorex adalah pembawa wafer ultra-bersih yang telah direkayasa dengan kesucian dan ketepatan yang tinggi untuk menyokong proses semikonduktor suhu tinggi seperti pengoksidaan, penyebaran, dan LPCVD (pemendapan wap kimia tekanan rendah). Pembawa wafer ini dibuat dari 9N (99.9999999%)silikon kemelut tinggiUntuk memastikan kebersihan yang luar biasa, pekali haba kestabilan pengembangan, dan ketepatan mekanikal untuk sokongan wafer dan kawalan proses yang konsisten dalam persekitaran ultra-bersih.

Sebagai geometri peranti semikonduktor terus mengecut, keperluan untuk komponen pengendalian wafer ultra-bersih dan termal yang serasi tidak pernah dalam permintaan sedemikian. Bot alas silikon menangani tuntutan ini dengan ketepatan dimensi yang tinggi dan kesucian yang tidak dapat ditandingi untuk digunakan dalam sistem relau canggih yang beroperasi antara 1100 ° C dan 1250 ° C.

Struktur bot silikon boleh disesuaikan untuk memenuhi keperluan pelanggan, termasuk bentuk bar alur, panjang gigi alur, bentuk, sudut kecondongan, dan jumlah kapasiti pemuatan wafer. Bot silikon suhu tinggi dapat mengurangkan kerosakan hubungan dengan wafer silikon, meningkatkan hasil proses. Reka bentuk "menara bebas slip" yang tinggi menyokong wafer hanya di hujung gigi sokongan. Berbanding dengan karbida silikon, silikon agak kurang keras, mengurangkan kerosakan mekanikal kepada wafer, dengan itu meningkatkan kualiti kisi dan mengurangkan kos pengeluaran dengan berkesan.

Bot alas boleh didapati disilikon monocrystalline atau polikristalinuntuk menghilangkan risiko pencemaran yang berkaitan dengan bahan bukan silikon. Platform ini berkongsi komposisi kimia yang sama seperti wafer yang digunakan secara aktif, yang meminimumkan reaksi yang tidak diingini atau penyebaran ion semasa proses suhu tinggi. Homogeniti bahan secara substansial mengurangkan identiti fizikal zarah dan kekotoran logam untuk kualiti wafer yang konsisten dan hasil peranti yang tinggi melalui kitaran pengeluaran berulang.

Bot Kaki Silicon Semicorex mempunyai slot wafer yang direka dengan tepat, digabungkan dengan struktur sokongan menegak, memastikan bahawa wafer tetap sejajar dengan sempurna dan jarak semasa kitaran pemanasan. Kestabilan dimensi adalah luar biasa, memastikan bahawa bot kekaki tidak akan meledingkan, membengkokkan, atau mengalihkan suhu yang melampau, menyediakan pengedaran suhu dan gas yang baik ke atas setiap wafer. Kestabilan dimensi ini mempunyai kesan positif, positif terhadap keseragaman ketebalan filem semasa pengoksidaan dan penyebaran dan menyediakan jumlah kecacatan yang lebih rendah serta kebolehulangan proses yang lebih baik.

Manfaat utama bot alas silikon adalah sifat mekanikal dan terma yang dioptimumkan. Kekerasan silikon berbanding dengan SIC atau kuarza akan membantu menurunkan penjanaan mikro dan zarah kerana getaran atau pergerakan wafer semasa pengembangan yang dipanaskan. Hal ini terutama berlaku untuk wafer sensitif belakang, di mana integriti permukaan wafer adalah penting untuk menghasilkan dan prestasi peranti.

Bot kekaki mempunyai kekonduksian terma yang baik dan pekali pengembangan haba yang rendah yang menyediakan ciri -ciri pemindahan haba sambil mengekalkan bentuk dan struktur struktur dengan pelbagai pemanasan dan kitaran penyejukan. Reka bentuk yang mantap juga menyediakan kehidupan yang panjang dengan ubah bentuk yang minimum melalui keadaan relau yang melampau.

Semicorex menyediakan reka bentuk tersuai untuk pelbagai konfigurasi peralatan, termasuk diameter wafer, kiraan slot, ketinggian alas, dan variasi geometri. Setiap produk diperiksa untuk kesucian, dimensi diukur, dan menguji kekonduksian terma, semuanya memenuhi piawaian tertinggi dalam proses pembuatan semikonduktor.

Bot alas silikon bersesuaian dengan proses pengoksidaan dan penyebaran serta dengan aplikasi LPCVD dan penyepuhlindapan yang memerlukan keseragaman suhu yang tidak dapat ditandingi dan kawalan pencemaran. Bot alas silikon bersesuaian dengan komponen relau silikon lain seperti tiub injector, tiub liner.