Cincin perisai silikon

Cincin perisai silikon Semicorex adalah komponen semikonduktor kritikal dalam proses etsa. Fungsi utamanya adalah mengelilingi elektrod dan mencegah kebocoran plasma yang berlebihan. Dengan kesucian material melebihi 9n (99.9999999%), cincin perisai boleh dibuat oleh kedua-dua kristal tunggal dan pelbagai kristalsilikon, memastikan operasi ultra-bersih dan keserasian yang boleh dipercayai dengan proses pembuatan semikonduktor maju.

Kawalan plasma yang tepat dalam proses etsa CCP/ICP adalah penting untuk kadar etch yang berkesan, seragam, dan kualiti wafer. Kebocoran plasma yang tidak terkawal di luar kawasan etsa yang dikehendaki boleh mewujudkan hakisan permukaan dan pencemaran atau merosakkan komponen di dalam ruang. Cincin perisai silikon adalah penyelesaian yang berkesan dan mudah untuk masalah ini, yang dibuat untuk membentuk penghalang perlindungan pada perimeter luar elektrod, membendung plasma daripada menyebarkan di luar kawasan sasaran dan menyekat etsa ke kawasan yang dikehendaki sahaja. Cincin perisai silikon juga bertindak sebagai elektrod luar untuk menstabilkan taburan plasma dan membolehkan lebih banyak tenaga seragam di permukaan wafer.

Ciri -ciri terma dan elektrik silikon seterusnya menyokong prestasi cincin perisai etsa. Rintangannya terhadap suhu proses yang tinggi memberikan integriti struktur semasa pendedahan plasma yang berpanjangan, dan kekonduksian elektriknya membolehkan komponen beroperasi dengan betul sebagai elemen dalam sistem elektrod. Bersama -sama, aplikasi ini meningkatkan kurungan plasma dan meningkatkan keseragaman tenaga, yang membolehkan profil etch berulang di seluruh wafer.

Toleransi mekanikal adalah satu lagi ciri penting cincin perisai silikon silikon. Dengan dihasilkan untuk toleransi yang ketat, ia menjamin kedudukan yang tepat di sekitar elektrod dan mengekalkan jarak dan geometri ruang. Ketepatan mekanikal ini menjana keadaan proses berulang untuk kurang kebolehubahan antara larian individu, dan membantu membolehkan pengeluaran semikonduktor volum tinggi. Bahan itu sendiri mempunyai keserasian yang sangat baik dengan persekitaran plasma; Oleh itu, mengikis strukturnya membolehkan ia biasanya memberikan hayat perkhidmatan yang panjang dan kestabilan dalam prestasi proses.

Toleransi mekanikal adalah satu lagi ciri penting cincin perisai silikon silikon. Dengan dihasilkan untuk toleransi yang ketat, ia menjamin kedudukan yang tepat di sekitar elektrod dan mengekalkan jarak dan geometri ruang. Ketepatan mekanikal ini menjana keadaan proses berulang untuk kurang kebolehubahan antara larian individu, dan membantu membolehkan pengeluaran semikonduktor volum tinggi. Bahan itu sendiri mempunyai keserasian yang sangat baik dengan persekitaran plasma; Oleh itu, mengikis strukturnya membolehkan ia biasanya memberikan hayat perkhidmatan yang panjang dan kestabilan dalam prestasi proses.

TheSilikonCincin perisai juga boleh disesuaikan untuk setiap konfigurasi alat dan spesifikasi proses kerana ia boleh didapati dalam beberapa saiz dan geometri untuk menampung banyak ruang etsa plasma yang berbeza yang dibuat, sementara masih mencapai kesesuaian yang optimum. Di samping itu, rawatan permukaan dan penggilap boleh digunakan untuk mengurangkan lagi generasi zarah untuk piawaian pembuatan ultra-bersih.