Penyuntik silikon

Penyuntik Silicon Semicorex adalah komponen kesucian ultra tinggi yang direka untuk penghantaran gas yang tepat dalam sistem pemendapan wap kimia tekanan rendah (LPCVD) untuk polysilicon dan pemendapan filem nipis. Dibina dari 9N (99.9999999%)silikon kesucian tinggi, penyuntik tiub halus ini memberikan kebersihan yang unggul, keserasian dengan bahan kimia, dan kestabilan terma dalam keadaan proses yang melampau.

Oleh kerana pembuatan semikonduktor terus berkembang ke tahap integrasi yang lebih tinggi dan kawalan pencemaran yang lebih ketat, setiap komponen penyampaian gas di ruang pemendapan juga diperlukan untuk memenuhi piawaian yang lebih tinggi daripada sebelumnya. Penyuntik Silicon Semicorex telah dibangunkan khusus untuk jenis -jenis keperluan -menyampaikan bahan -bahan gas dalam cara yang stabil dan seragam di seluruh ruang tindak balas tanpa memperkenalkan pencemaran yang akan memberi kesan negatif terhadap kualiti filem, atau hasil wafer.

Penyuntik dihasilkan dari silikon monocrystalline atau polikristalin bergantung kepada keperluan proses, dan bahan tersebut direka untuk menjadi kekotoran logam, partikulat, dan ionik yang rendah. Ini menyediakan keserasian dengan keadaan LPCVD ultra-bersih, di mana pencemaran jejak dapat menyebabkan kecacatan dalam filem atau kegagalan peranti. Penggunaan silikon sebagai bahan asas juga mengurangkan ketidakcocokan bahan antara komponen penyuntik dan silikon ruang, yang secara signifikan menurunkan risiko penjanaan zarah atau tindak balas kimia semasa penggunaan dan operasi suhu tinggi.

Struktur tiub khusus penyuntik silikon membolehkan pengagihan gas terkawal dan sama dengan beban wafer seragam. Orifices kejuruteraan mikro dan permukaan dalaman yang licin memastikan kadar aliran yang boleh dihasilkan bersama-sama dengan dinamik gas laminar yang penting untuk ketebalan filem yang konsisten dan kadar pemendapan yang stabil di dalam relau. Sama ada silane (sih₄), diklorosilane (sih₂cl₂), atau gas reaktif yang lain, penyuntik menawarkan prestasi dan ketepatan yang boleh dipercayai yang diperlukan untuk pertumbuhan filem polysilicon yang berkualiti.

Oleh kerana kestabilan terma yang sangat baik, penyuntik silikon Semicorex boleh menahan suhu sehingga 1250 ° C dan boleh dikawal tanpa rasa takut terhadap ubah bentuk, retak, atau melengkung semasa beberapa kitaran LPCVD suhu tinggi. Di samping itu, ketahanan yang tinggi terhadap pengoksidaan dan inertness kimia memberikan jangka panjang semasa mengoksida, mengurangkan, atau mengakis suasana sambil mengurangkan penyelenggaraan dan mewujudkan kestabilan proses.

Setiap penyuntik dihasilkan menggunakan pemesinan dan penggilap CNC yang canggih, mencapai toleransi dimensi sub-mikron dan kemasan ultra-lancar ke permukaan. Kemasan permukaan berkualiti tinggi meminimumkan pergolakan gas, mewujudkan sangat sedikit tanpa zarah sambil memastikan ciri -ciri aliran yang konsisten merentasi perubahan terma dan tekanan yang tidak konsisten. Pembuatan ketepatan memastikan proses yang dikawal ketat, dapat dihasilkan semula hasil yang boleh dipercayai, dan oleh itu prestasi peralatan yang konsisten.

Semicorex mengeluarkan penyuntik silikon yang lebih baik, tersedia dalam panjang, diameter, dan konfigurasi muncung. Penyelesaian yang disesuaikan boleh dibangunkan untuk meningkatkan corak penyebaran gas untuk geometri reaktor satu atau resipi pemendapan. Setiap penyuntik diperiksa dan disahkan untuk kesucian untuk menyampaikan tahap tertinggi gred semikonduktorkomponen silikon.

Penyuntik Silicon Semicorex menyediakan ketepatan dan kesucian yang diperlukan dalam pembuatan semikonduktor hari ini. Menggabungkan silikon kesucian ultra-tinggi 9n, ketepatan pemesinan peringkat mikron, dan kestabilan terma dan kimia yang tinggi menyediakan pengedaran gas seragam, penjanaan zarah yang lebih rendah, dan kebolehpercayaan yang luar biasa apabila mendepositkan polysilicon LPCVD.