Sebagai pengilang profesional, kami ingin memberikan anda Komponen Semikonduktor. Semicorex ialah rakan kongsi anda untuk menambah baik dalam pemprosesan semikonduktor. Salutan silikon karbida kami adalah padat, tahan suhu tinggi dan bahan kimia, yang sering digunakan dalam keseluruhan kitaran pembuatan semikonduktor, termasuk pemprosesan wafer & wafer semikonduktor dan fabrikasi semikonduktor.
Komponen bersalut SiC ketulenan tinggi adalah penting untuk proses dalam semikonduktor. Tawaran kami terdiri daripada bahan guna habis grafit untuk zon panas tumbuh kristal (pemanas, susceptor crucible, penebat), kepada komponen grafit berketepatan tinggi untuk peralatan pemprosesan wafer, seperti susceptor grafit bersalut silikon karbida untuk Epitaxy atau MOCVD.
Kelebihan untuk proses semikonduktor
Fasa pemendapan filem nipis seperti epitaksi atau MOCVD, atau pemprosesan pengendalian wafer seperti etsa atau implan ion mesti bertahan pada suhu tinggi dan pembersihan kimia yang keras. Semicorex membekalkan pembinaan grafit bersalut silikon karbida (SiC) ketulenan tinggi memberikan rintangan haba yang unggul dan rintangan kimia tahan lama, malah keseragaman terma untuk ketebalan dan rintangan lapisan epi yang konsisten.
Penutup Bilik →
Penutup Kebuk yang digunakan dalam pertumbuhan kristal dan pemprosesan pengendalian wafer mesti tahan suhu tinggi dan pembersihan kimia yang keras.
Pengesan Akhir →
End effector ialah tangan robot yang menggerakkan wafer semikonduktor antara kedudukan dalam peralatan pemprosesan wafer dan pembawa.
Gelang Masuk →
Cincin masuk gas bersalut SiC oleh peralatan MOCVD Pertumbuhan kompaun mempunyai rintangan haba dan kakisan yang tinggi, yang mempunyai kestabilan yang hebat dalam persekitaran yang melampau.
Cincin Fokus →
Semicorex membekalkan Cincin fokus Silicon Carbide Coated benar-benar stabil untuk RTA, RTP atau pembersihan kimia yang keras.
Wafer Chuck →
Chuck wafer vakum seramik ultra-rata semicorex adalah bersalut SiC ketulenan tinggi yang digunakan dalam proses pengendalian wafer.
Filamen Pemanasan Semicorex Sic adalah pemanas grafit bersalut karbida silikon yang direka untuk pemanasan wafer dalam pembuatan semikonduktor canggih. Memilih Semicorex bermaksud memilih rakan kongsi yang dipercayai yang menyampaikan bahan-bahan kesucian tinggi, penyesuaian ketepatan, dan prestasi jangka panjang untuk proses terma yang paling menuntut.*
Baca LagiHantar PertanyaanSemikorex silikon karbida chucks direka khas untuk peralatan fotolitografi dan mempunyai banyak kelebihan seperti ketepatan yang tinggi, berat badan ultra-cahaya, kekakuan tinggi, pekali rendah pengembangan haba, dan rintangan haus yang sangat baik.
Baca LagiHantar PertanyaanTiub relau Semicorex SIC adalah tiub karbida silikon kemelut tinggi yang dihasilkan oleh teknologi percetakan 3D lanjutan, yang direka untuk proses fotovoltaik suhu tinggi. Semicorex menyampaikan penyelesaian SIC canggih dengan kekuatan, kestabilan, dan kebolehpercayaan yang lebih baik yang dipercayai oleh industri solar di seluruh dunia.*
Baca LagiHantar PertanyaanSemicorex sic paddles adalah lengan cantilever karbida silikon tinggi yang direka untuk pengangkutan wafer dalam pengoksidaan suhu tinggi dan relau penyebaran di atas 1000 ℃. Memilih Semicorex bermakna memastikan kualiti bahan yang luar biasa, kejuruteraan ketepatan, dan kebolehpercayaan jangka panjang yang dipercayai oleh fabs semikonduktor terkemuka.*
Baca LagiHantar PertanyaanCincin Fokus Semicorex SIC adalah komponen cincin karbida silikon yang tinggi yang direka untuk mengoptimumkan pengedaran plasma dan keseragaman proses wafer dalam pembuatan semikonduktor. Memilih Semicorex bermakna memastikan kualiti yang konsisten, kejuruteraan bahan canggih, dan prestasi yang boleh dipercayai yang dipercayai oleh fabs semikonduktor terkemuka di seluruh dunia.*
Baca LagiHantar PertanyaanSemicorex Wafer Edge Grinding Chuck adalah cakera seramik yang diperbuat daripada alumina putih kemelut tinggi, yang direka untuk pengisaran kelebihan wafer dalam pembuatan semikonduktor. Memilih Semicorex memastikan kualiti bahan yang unggul, kejuruteraan ketepatan, dan prestasi yang boleh dipercayai yang menyokong persekitaran pemprosesan wafer yang paling menuntut.*
Baca LagiHantar Pertanyaan