Elektrod Melengkung Silikon

Semasa peralatan goresan canggih, elektrod melengkung silikon biasanya dipasang pada bahagian atas ruang etsa, menghadap ke arah wafer semikonduktor. Elektrod lengkung silikon biasanya beroperasi bersama chuck elektrostatik, cincin fokus Si, cincin tepi Si, cincin ekzos Si, dan cincin perisai Si untuk menyediakan keadaan operasi yang optimum untuk goresan ketepatan tinggi.

Fungsi elektrod lengkung silikon Semicorex

1. Serasi dengan etsa struktur 3D yang kompleks

Dengan keupayaan kawalan medan elektrik 3D yang luar biasa, Semicorexelektrod melengkung silikonboleh memadankan dengan sempurna ciri-ciri geometri struktur kompleks. Reka bentuk melengkung khas membolehkan kawalan plasma yang tepat dan pengagihan tenaga yang dioptimumkan, yang memberi kesan ketara kepada nisbah aspek dan menegak dinding sisi goresan struktur 3D dan memenuhi sepenuhnya keperluan barisan pengeluaran proses pembungkusan lanjutan dan penyepaduan IC 3D.

2. Kawalan Tepat Pengagihan Gas Etch

Elektrod lengkung silikon semicorex menampilkan berbilang lubang mikro yang diedarkan secara seragam pada permukaannya untuk gas etsa memasuki ruang etsa. Elektrod lengkung silikon semicorex boleh mencapai kawalan tepat pada gas etch dan membolehkan ia diagihkan secara seragam dalam ruang etsa, dengan itu meminimumkan variasi proses yang disebabkan oleh pengedaran gas tidak seragam.

Kelebihan elektrod lengkung silikon Semicorex

1. Ketulenan ultra tinggi

Elektrod melengkung silikon semicorex diperbuat daripada kristal tunggal ketulenan ultra tinggisilikondengan tahap ketulenan melebihi 99.9999999%, menawarkan ketahanan yang unggul terhadap hakisan plasma. Pemilihan bahan berstandard tinggi ini secara berkesan boleh mengelakkan pencemaran yang tidak diingini akibat daripada produk sampingan goresan di samping memanjangkan hayat perkhidmatan elektrod melengkung silikon dengan ketara.

2. Sifat elektrik yang sangat baik

Dihasilkan daripada silikon kristal tunggal yang ditanam MCZ, elektrod lengkung silikon Semicorex mempamerkan keseragaman kerintangan yang luar biasa: ＜5%, dan julat kerintangan boleh dipilih yang luas: res rendah. (<0.02), semula tengah. (1–4), dan resolusi tinggi. (70–90).

3. Ketepatan pemprosesan ketepatan

Melalui pemprosesan mekanikal berketepatan tinggi, elektrod melengkung silikon Semicorex mencapai saiz liang yang konsisten dan pengagihan lubang yang seragam. Permukaannya digilap halus dan dikisar: digilap (Ra < 0.1 μm) dan dikisar (Ra < 1.6 μm), dengan ketepatan pemesinan keseluruhan dikawal dalam 0.03 mm.