Cincin Goresan Silikon

Cincin goresan silikon ialah komponen penting dalam ruang gores plasma peralatan goresan CCP/ICP dan biasanya diletakkan di sekeliling wafer semikonduktor. Fungsi utama mereka adalah untuk menyokong wafer semikonduktor, mengekalkan pengedaran plasma seragam, melindungi kelebihan wafer, dan dengan itu membantu mewujudkan keadaan operasi yang optimum untuk proses etsa plasma.

Kelebihan cincin etsa silikon Semicorex

1. Pemilihan bahan premium

Cincin etsa silikon semicorex dihasilkan daripada MCZ ketulenan tinggi yang dipilih dengan telitisilikon monohablur, yang menawarkan sifat cemerlang berikut berbanding silikon monohablur CZ konvensional.

Kesucian yang tinggi: Ketulenannya melebihi 99.9999999%, yang bermaksud cincin etsa silikon Semicorex mengandungi hampir tiada kekotoran. Ketulenan ultra-tinggi ini berkesan boleh mengelakkan gangguan daripada kekotoran komponen semasa proses goresan, dengan itu menjamin ketepatan goresan yang tinggi.

Struktur stabil: Silikon monohablur MCZ mempunyai struktur kristal unggul dengan kecacatan yang lebih rendah daripada silikon monohablur CZ konvensional. Struktur kristal yang stabil ini memberikan cincin etsa silikon Semicorex meningkatkan ketahanan kakisan terhadap kakisan plasma dan membolehkannya menahan keadaan operasi goresan yang keras.

Keseragaman rintangan yang sangat baik:Cincin goresan silikon semicorexmemberikan keseragaman rintangan yang luar biasa dengan RRG < 5%. Res Rendah (<0.02 Ω·cm), Pertengahan. (0.2–25 Ω·cm), Resolusi Tinggi. (>100 Ω·cm). Keseragaman kerintangan yang sangat baik ini boleh meminimumkan taburan plasma yang tidak sekata yang disebabkan oleh kerintangan yang terlalu tinggi atau rendah, yang menyumbang kepada medan elektrik yang ideal untuk etsa plasma berketepatan tinggi.

2. pemprosesan ketepatan dan pemeriksaan kualiti yang ketat

Semicorex mempunyai pasukan teknikal berpengalaman yang boleh menyediakan penyesuaian peribadi dan penilaian teknikal untuk pelanggan kami yang dihargai dan juga telah menetapkan prosedur pemprosesan dan pemeriksaan yang sistematik untuk menjamin kualiti produk.

Perkhidmatan penyesuaian fleksibel: Semicorex menyokong penyesuaian berdasarkan lukisan pelanggan, dan diameter maksimum tersuai gelang goresan silikon boleh mencapai sehingga 470mm.

Rawatan permukaan standard tinggi: Ketepatan penggilapan boleh dikawal ketat dalam Ra < 0.1 µm, dan pengisaran halus mencapai kemasan permukaan Ra > 0.1 µm.

Pemeriksaan kualiti yang ketat: Pengukuran dimensi, ujian kerintangan dan pemeriksaan visual akan diambil untuk memastikan gelang goresan silikon bebas daripada cip, calar, retak, noda dan kecacatan lain.