MOCVD Planet Susceptor untuk Semikonduktor

Semicorex ialah nama yang dipercayai dalam industri semikonduktor, menyediakan MOCVD Planet Susceptor untuk Semikonduktor berkualiti tinggi. Produk kami direka bentuk untuk memenuhi keperluan khusus pengeluar semikonduktor yang mencari pembawa yang boleh memberikan prestasi, kestabilan dan ketahanan yang sangat baik. Hubungi kami hari ini untuk mengetahui lebih lanjut tentang produk kami dan cara kami boleh membantu anda dengan keperluan pembuatan semikonduktor anda.

Hantar Pertanyaan

Penerangan Produk

MOCVD Planet Susceptor untuk Semikonduktor kami menampilkan rintangan pengoksidaan suhu tinggi, memastikan kestabilannya pada suhu tinggi sehingga 1600°C. Ia juga sangat tulen, dibuat oleh pemendapan wap kimia CVD di bawah keadaan pengklorinan suhu tinggi, memastikan keseragaman dan konsistensi produk, malah profil haba dan corak aliran gas lamina.
Hubungi kami hari ini untuk mengetahui lebih lanjut tentang MOCVD Planet Susceptor kami untuk Semikonduktor.

Parameter MOCVD Planet Susceptor untuk Semikonduktor

Spesifikasi Utama Salutan CVD-SIC
Sifat SiC-CVD
Struktur Kristal	fasa FCC β
Ketumpatan	g/cm ³	3.21
Kekerasan	Kekerasan Vickers	2500
Saiz Bijirin	μm	2~10
Ketulenan Kimia	%	99.99995
Kapasiti Haba	J kg-1 K-1	640
Suhu Sublimasi	℃	2700
Kekuatan Feleksural	MPa (RT 4 mata)	415
Modulus Muda	Gpa (4pt selekoh, 1300℃)	430
Pengembangan Terma (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Kekonduksian terma	(W/mK)	300

Ciri-ciri Susceptor Grafit Bersalut SiC untuk MOCVD

- Elakkan mengelupas dan pastikan salutan pada semua permukaan
Rintangan pengoksidaan suhu tinggi: Stabil pada suhu tinggi sehingga 1600°C
Ketulenan tinggi: dibuat oleh pemendapan wap kimia CVD di bawah keadaan pengklorinan suhu tinggi.
Rintangan kakisan: kekerasan tinggi, permukaan padat dan zarah halus.
Rintangan kakisan: asid, alkali, garam dan reagen organik.
- Mencapai corak aliran gas lamina terbaik
- Menjamin kesekataan profil terma
- Elakkan sebarang pencemaran atau resapan bendasing