Plat Pemegang Satelit MOCVD

Plat Pemegang Satelit Semicorex MOCVD ialah pembawa cemerlang yang direka untuk digunakan dalam industri semikonduktor. Ketulenannya yang tinggi, rintangan kakisan yang sangat baik, dan juga profil terma menjadikannya pilihan yang sangat baik bagi mereka yang mencari pembawa yang boleh menahan permintaan proses pembuatan semikonduktor. Kami komited untuk menyediakan pelanggan kami produk berkualiti tinggi yang memenuhi keperluan khusus mereka. Hubungi kami hari ini untuk mengetahui lebih lanjut tentang Plat Pemegang Satelit MOCVD kami dan cara kami boleh membantu anda dengan keperluan pembuatan semikonduktor anda.

Hantar Pertanyaan

Penerangan Produk

Plat Pemegang Satelit MOCVD Semicorex ialah pembawa berkualiti tinggi yang direka untuk digunakan dalam industri semikonduktor. Produk kami disalut dengan silikon karbida ketulenan tinggi pada grafit, menjadikannya sangat tahan terhadap pengoksidaan pada suhu tinggi sehingga 1600°C. Proses pemendapan wap kimia CVD yang digunakan dalam pembuatannya memastikan ketulenan tinggi dan rintangan kakisan yang sangat baik, menjadikannya sesuai untuk digunakan dalam persekitaran bilik bersih.
Ciri-ciri Plat Pemegang Satelit MOCVD kami sangat mengagumkan. Permukaan padat dan zarah halusnya meningkatkan ketahanan kakisannya, menjadikannya tahan terhadap asid, alkali, garam dan reagen organik. Pembawa ini sangat stabil, walaupun dalam persekitaran yang melampau, menjadikannya pilihan yang sangat baik untuk mereka yang mencari pembawa yang boleh menahan permintaan industri semikonduktor.

Parameter Plat Pemegang Satelit MOCVD

Spesifikasi Utama Salutan CVD-SIC
Sifat SiC-CVD
Struktur Kristal	Fasa FCC Î²
Ketumpatan	g/cm ³	3.21
Kekerasan	Kekerasan Vickers	2500
Saiz bijirin	Î¼m	2~10
Ketulenan Kimia	%	99.99995
Kapasiti Haba	J·kg-1 ·K-1	640
Suhu Sublimasi	℃	2700
Kekuatan Feleksural	MPa (RT 4 mata)	415
Modulus Muda	Gpa (4pt selekoh, 1300â)	430
Pengembangan Terma (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Kekonduksian terma	(W/mK)	300

Ciri-ciri Susceptor Grafit Bersalut SiC untuk MOCVD

- Elakkan mengelupas dan pastikan salutan pada semua permukaan
Rintangan pengoksidaan suhu tinggi: Stabil pada suhu tinggi sehingga 1600°C
Ketulenan tinggi: dibuat oleh pemendapan wap kimia CVD di bawah keadaan pengklorinan suhu tinggi.
Rintangan kakisan: kekerasan tinggi, permukaan padat dan zarah halus.
Rintangan kakisan: asid, alkali, garam dan reagen organik.
- Mencapai corak aliran gas lamina terbaik
- Menjamin kesekataan profil terma
- Elakkan sebarang pencemaran atau resapan bendasing