Pembawa Bersalut SiC RTP RTA

Semicorex ialah pengeluar dan pembekal Susceptor Grafit Bersalut Silikon Karbida berskala besar di China. Susceptor grafit semicorex direka bentuk khusus untuk peralatan epitaksi dengan rintangan haba dan kakisan yang tinggi di China. Pembawa Bersalut SiC RTP RTA kami mempunyai kelebihan harga yang baik dan meliputi kebanyakan pasaran Eropah dan Amerika. Kami berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda.

Hantar Pertanyaan

Penerangan Produk

Semicorex membekalkan RTP RTA SiC Coated Carrier yang digunakan untuk menyokong wafer, yang benar-benar stabil untuk RTA, RTP atau pembersihan kimia yang keras. Pembawa Bersalut SiC RTP RTA dengan pembinaan grafit bersalut silikon karbida (SiC) ketulenan tinggi memberikan rintangan haba yang unggul, malah keseragaman terma untuk ketebalan dan rintangan lapisan epi yang konsisten, dan rintangan kimia tahan lama. Salutan kristal SiC yang halus menyediakan permukaan yang bersih, licin, kritikal untuk pengendalian kerana wafer tulen menghubungi susceptor di banyak titik di seluruh kawasannya.
Di Semicorex, kami menumpukan pada penyediaan Pembawa Bersalut RTP RTA SiC berkualiti tinggi, kos efektif, kami mengutamakan kepuasan pelanggan dan menyediakan penyelesaian yang menjimatkan kos. Kami berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda, menyampaikan produk berkualiti tinggi dan perkhidmatan pelanggan yang luar biasa.

Parameter Pembawa Bersalut RTP RTA SiC

Spesifikasi Utama Salutan CVD-SIC
Sifat SiC-CVD
Struktur Kristal	fasa FCC β
Ketumpatan	g/cm ³	3.21
Kekerasan	Kekerasan Vickers	2500
Saiz Bijirin	μm	2~10
Ketulenan Kimia	%	99.99995
Kapasiti Haba	J kg-1 K-1	640
Suhu Sublimasi	℃	2700
Kekuatan Feleksural	MPa (RT 4 mata)	415
Modulus Muda	Gpa (4pt selekoh, 1300℃)	430
Pengembangan Terma (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Kekonduksian terma	(W/mK)	300

Ciri-ciri Pembawa Bersalut SiC RTP RTA

- Kedua-dua substrat grafit dan lapisan silikon karbida mempunyai ketumpatan yang baik dan boleh memainkan peranan perlindungan yang baik dalam suhu tinggi dan persekitaran kerja yang menghakis.
- Suseptor bersalut silikon karbida yang digunakan untuk pertumbuhan kristal tunggal mempunyai kerataan permukaan yang sangat tinggi.
- Mengurangkan perbezaan dalam pekali pengembangan haba antara substrat grafit dan lapisan silikon karbida, meningkatkan kekuatan ikatan secara berkesan untuk mengelakkan keretakan dan penyimpangan.
- Kedua-dua substrat grafit dan lapisan silikon karbida mempunyai kekonduksian terma yang tinggi, dan sifat pengagihan haba yang sangat baik.
- Takat lebur tinggi, rintangan pengoksidaan suhu tinggi, rintangan kakisan.