Pembawa Wafer Semikonduktor untuk Peralatan MOCVD

Anda boleh yakin untuk membeli Pembawa Wafer Semikonduktor untuk Peralatan MOCVD dari kilang kami. Pembawa wafer semikonduktor ialah komponen penting peralatan MOCVD. Ia digunakan untuk mengangkut dan melindungi wafer semikonduktor semasa proses pembuatan. Pembawa Wafer Semikonduktor untuk Peralatan MOCVD diperbuat daripada bahan ketulenan tinggi dan direka bentuk untuk mengekalkan integriti wafer semasa pemprosesan.

Hantar Pertanyaan

Penerangan Produk

Pembawa Wafer Semikonduktor kami untuk Peralatan MOCVD ialah komponen penting dalam proses pembuatan semikonduktor. Ia diperbuat daripada grafit ketulenan tinggi dengan salutan silikon karbida dengan kaedah CVD dan direka bentuk untuk menampung berbilang wafer. Pembawa menawarkan beberapa faedah, termasuk hasil yang lebih baik, produktiviti yang dipertingkatkan, pencemaran yang dikurangkan, peningkatan keselamatan dan keberkesanan kos. Jika anda sedang mencari Pembawa Wafer Semikonduktor yang boleh dipercayai dan berkualiti tinggi untuk Peralatan MOCVD, produk kami ialah penyelesaian yang sempurna.
Hubungi kami hari ini untuk mengetahui lebih lanjut tentang Pembawa Wafer Semikonduktor kami untuk Peralatan MOCVD.

Parameter Pembawa Wafer Semikonduktor untuk Peralatan MOCVD

Spesifikasi Utama Salutan CVD-SIC
Sifat SiC-CVD
Struktur Kristal	Fasa FCC Î²
Ketumpatan	g/cm ³	3.21
Kekerasan	Kekerasan Vickers	2500
Saiz bijirin	Î¼m	2~10
Ketulenan Kimia	%	99.99995
Kapasiti Haba	J·kg-1 ·K-1	640
Suhu Sublimasi	℃	2700
Kekuatan Feleksural	MPa (RT 4 mata)	415
Modulus Muda	Gpa (4pt selekoh, 1300â)	430
Pengembangan Terma (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Kekonduksian terma	(W/mK)	300

Ciri-ciri Susceptor Grafit Bersalut SiC untuk MOCVD

- Elakkan mengelupas dan pastikan salutan pada semua permukaan
Rintangan pengoksidaan suhu tinggi: Stabil pada suhu tinggi sehingga 1600°C
Ketulenan tinggi: dibuat oleh pemendapan wap kimia CVD di bawah keadaan pengklorinan suhu tinggi.
Rintangan kakisan: kekerasan tinggi, permukaan padat dan zarah halus.
Rintangan kakisan: asid, alkali, garam dan reagen organik.
- Mencapai corak aliran gas lamina terbaik
- Menjamin kesekataan profil terma
- Elakkan sebarang pencemaran atau resapan bendasing