Susceptors Wafer SiC untuk MOCVD

Susceptors Wafer SiC Semicorex untuk MOCVD ialah contoh ketepatan dan inovasi, direka khusus untuk memudahkan pemendapan epitaxial bahan semikonduktor pada wafer. Sifat bahan unggul plat membolehkan mereka menahan keadaan ketat pertumbuhan epitaxial, termasuk suhu tinggi dan persekitaran yang menghakis, menjadikannya sangat diperlukan untuk pembuatan semikonduktor berketepatan tinggi. Kami di Semicorex berdedikasi untuk mengeluarkan dan membekalkan Susceptor Wafer SiC berprestasi tinggi untuk MOCVD yang menggabungkan kualiti dengan kecekapan kos.

Hantar Pertanyaan

Penerangan Produk

Gabungan kestabilan terma, rintangan kimia dan keteguhan mekanikal memastikan Susceptors Wafer SiC Semicorex untuk MOCVD mempunyai hayat operasi yang panjang, walaupun dalam keadaan pemprosesan yang teruk：

1. Susceptors Wafer SiC untuk MOCVD ini direka bentuk untuk menahan suhu yang sangat tinggi, selalunya melebihi 1500°C, tanpa degradasi. Ketahanan ini penting untuk proses yang memerlukan pendedahan berpanjangan kepada persekitaran terma yang tinggi. Sifat terma yang unggul meminimumkan kecerunan terma dan tegasan dalam susceptor, dengan itu mengurangkan risiko meledingkan atau ubah bentuk di bawah suhu pemprosesan yang melampau.

2. Salutan SiC bagi Susceptors Wafer SiC untuk MOCVD memberikan rintangan yang luar biasa terhadap bahan kimia menghakis yang digunakan dalam proses CVD, seperti gas berasaskan halogen. Lengai ini memastikan pembawa tidak bertindak balas dengan gas proses, dengan itu mengekalkan integriti dan ketulenan filem yang dimendapkan.

3. Pembinaan teguh Susceptors Wafer SiC ini untuk MOCVD memastikan ia dapat menahan tekanan mekanikal pengendalian dan pemprosesan tanpa menghasilkan zarah yang boleh mencemari wafer. Keseragaman permukaan susceptor menggalakkan keadaan pemprosesan yang boleh dihasilkan semula, yang penting untuk menghasilkan peranti semikonduktor dengan prestasi dan kebolehpercayaan yang konsisten.

Penerangan yang diperluaskan ini menyerlahkan kelebihan profesional dan teknikal SiC Wafer Susceptors untuk MOCVD dalam proses CVD semikonduktor, menekankan sifat dan faedah uniknya dalam mengekalkan standard ketulenan, prestasi dan kecekapan yang tinggi dalam proses pembuatan.