Elektrod Silikon Kristal Tunggal

Elektrod silikon kristal tunggalbiasanya dipasang di bahagian atas ruang etsa, berfungsi sebagai elektrod atas. Permukaan elektrod silikon kristal tunggal mempunyai lubang mikro yang diedarkan secara seragam, yang boleh menghantar gas etsa ke dalam ruang tindak balas secara sekata. Semasa proses etsa, mereka bekerja dengan elektrod yang lebih rendah untuk menghasilkan medan elektrik yang seragam, yang menyumbang kepada menyediakan keadaan operasi yang ideal untuk etsa ketepatan.

Pemilihan bahan yang teliti

Semicorex memilih silikon monohabluran premium yang ditanam MCZ untuk mengeluarkan elektrod silikon kristal tunggal, menawarkan prestasi dan kualiti produk terkemuka industri.

1. Ketulenan ultra tinggi

Elektrod silikon kristal tunggal semicorex menampilkan ketulenan ultra tinggi melebihi 99.9999999%, yang bermaksud bahawa kandungan kekotoran logam dalaman adalah sangat rendah.

2. Keseragaman rintangan yang luar biasa

Berbeza daripada silikon kristal tunggal CZ konvensional, silikon monohabluran MCZ yang digunakan oleh Semicorex mencapai keseragaman kerintangan di bawah 5%. Res rendahnya. dikawal di bawah 0.02 Ω·cm, res tengah. adalah antara 0.2 dan 25Ω·cm, dan resolusi tinggi. adalah antara 70-90 Ω·cm (penyesuaian tersedia atas permintaan).

3. Struktur bahan yang sangat baik

Silikon kristal tunggal yang ditanam melalui kaedah MCZ menawarkan struktur yang lebih stabil dan lebih sedikit kecacatan, menjadikan elektrod silikon kristal tunggal Semicorex memberikan rintangan kakisan plasma yang luar biasa dan menahan keadaan operasi goresan yang keras.

---

Ketepatan pemprosesan standard tinggi

Semicorexsilikon kristal tunggalelektrod dihasilkan melalui proses pengeluaran lengkap daripada jongkong silikon kepada produk siap, termasuk penghirisan, pengisaran permukaan, penggerudian lubang, goresan basah, dan penggilap permukaan. Semicorex mengekalkan kawalan ketepatan yang ketat dalam setiap langkah untuk memastikan diameter, ketebalan, kesatuan permukaan, jarak lubang dan apertur elektrod dikekalkan dalam toleransi yang ideal.

1. Pemprosesan lubang mikro

Lubang mikro pada elektrod silikon kristal tunggal menampilkan jarak seragam dan diameter yang konsisten (antara 0.2 hingga 0.8 mm), dengan dinding dalam licin dan bebas burr. Ini secara berkesan menjamin bekalan gas etsa yang seragam dan stabil, sekali gus memastikan keseragaman dan ketepatan goresan wafer.

2. Ketepatan pemprosesan

Ketepatan pemprosesan elektrod silikon kristal tunggal Semicorex dikawal dalam lingkungan 0.3 mm, dan ketepatan penggilapannya boleh dikawal ketat di bawah 0.1 µm, dan pengisaran halus kurang daripada 1.6 µm.