Suseptor planet bersalut SiC

Susceptor planet bersalut Semicorex SiC adalah komponen sokongan yang sangat diperlukan yang direka untuk pertumbuhan epitaxial semikonduktor dalam peralatan Aixtron G2, di mana ia mampu menyokong wafer dan berputar dengan cara pergerakan planet dengan selamat. Dengan cara ini, keseragaman haba yang tepat dan pengagihan gas seragam merentasi permukaan wafer boleh dicapai dengan jayanya, yang menghasilkan pemendapan lapisan epitaxial berkualiti premium pada wafer.

Kelebihan suseptor planet bersalut Semicorex SiC

1. Reka bentuk poket berbilang wafer

Semicorex bersalut SiCsuseptor planetmenampilkan pengedaran seragam beberapa poket wafer dengan dimensi terkawal dengan tepat. Poket wafer ini mampu memegang substrat wafer dengan kuat semasa proses pertumbuhan epitaxial, yang boleh meminimumkan variasi proses epitaxial dengan berkesan yang disebabkan oleh pergerakan substrat wafer yang tidak diingini. Di samping itu, reka bentuk poket berbilang wafer ini membolehkan berbilang substrat wafer menjalani pemendapan epitaxial secara serentak dalam satu proses berjalan, meningkatkan kecekapan keseluruhan proses pertumbuhan epitaxial.

2. Susunan Lubang Aliran Gas Dioptimumkan

Semicorex menggabungkan set saluran aliran gas yang direka bentuk dengan teliti ke dalamnyaSiC-caotedsusceptor planet, yang memperhalusi pengoptimuman dinamik aliran gas dan keseragaman terma merentasi permukaan wafer sepanjang proses epitaxial. Reka bentuk yang bernas ini membolehkan kawalan tepat ke atas kadar aliran dan pengedaran gas di dalam ruang tindak balas, yang penting untuk mencapai filem nipis berkualiti tinggi, ketebalan lapisan seragam dan prestasi keseluruhan peranti yang boleh dipercayai.

3. Kebersihan sangat tinggi

Susceptor planet bersalut Semicorex SiC dihasilkan dengan bahan ketulenan ultra tinggi dan tahap kekotoran yang sangat rendah, memenuhi sepenuhnya keperluan kebersihan ketat fabrikasi semikonduktor. Mereka berkesan meminimumkan pencemaran wafer yang disebabkan oleh keluar gas logam, walaupun di bawah suhu tinggi dan keadaan menghakis yang biasa dalam proses epitaxial.

4. hayat perkhidmatan yang tahan lama

Kawalan kualiti Semicorex bermula dengan pemilihan bahan mentah kami yang ketat. Susceptor planet bersalut SiC dihasilkan dengan ketepatan daripada grafit gred semikonduktor dan karbida silikon, menawarkan rintangan suhu tinggi dan rintangan kakisan yang sangat baik, menjadikannya tahan sempurna dalam keadaan operasi epitaxial suhu tinggi yang mencabar dan sangat menghakis. Dengan sifat bahan yang sangat baik ini, susceptor planet bersalut Semicorex SiC boleh mengekalkan prestasi konsisten dan integriti struktur dan mengelakkan kerosakan permukaan dan penurunan prestasi dalam ruang tindak balas suhu tinggi dan kakisan tinggi, yang dengan itu memanjangkan hayat perkhidmatan susceptor planet bersalut SiC dengan banyak.