Salutan SiC ialah lapisan nipis pada susceptor melalui proses pemendapan wap kimia (CVD). Bahan silikon karbida memberikan beberapa kelebihan berbanding silikon, termasuk 10x kekuatan medan elektrik pecahan, 3x jurang jalur, yang menyediakan bahan dengan suhu tinggi dan rintangan kimia, rintangan haus yang sangat baik serta kekonduksian terma.
Semicorex menyediakan perkhidmatan tersuai, membantu anda berinovasi dengan komponen yang tahan lebih lama, mengurangkan masa kitaran dan meningkatkan hasil.
Salutan SiC mempunyai beberapa kelebihan unik
Rintangan Suhu Tinggi: Susceptor bersalut CVD SiC boleh menahan suhu tinggi sehingga 1600°C tanpa mengalami degradasi haba yang ketara.
Rintangan Kimia: Salutan silikon karbida memberikan rintangan yang sangat baik terhadap pelbagai bahan kimia, termasuk asid, alkali dan pelarut organik.
Rintangan Haus: Salutan SiC menyediakan bahan dengan rintangan haus yang sangat baik, menjadikannya sesuai untuk aplikasi yang melibatkan haus dan lusuh yang tinggi.
Kekonduksian Terma: Salutan SiC CVD menyediakan bahan dengan kekonduksian terma yang tinggi, menjadikannya sesuai untuk digunakan dalam aplikasi suhu tinggi yang memerlukan pemindahan haba yang cekap.
Kekuatan dan Kekakuan Tinggi: Suseptor bersalut silikon karbida menyediakan bahan dengan kekuatan dan kekakuan yang tinggi, menjadikannya sesuai untuk aplikasi yang memerlukan kekuatan mekanikal yang tinggi.
Salutan SiC digunakan dalam pelbagai aplikasi
Pengilangan LED: Susceptor bersalut CVD SiC digunakan dalam pembuatan diproses pelbagai jenis LED, termasuk LED biru dan hijau, LED UV dan LED UV dalam, kerana kekonduksian haba yang tinggi dan rintangan kimia.
Komunikasi mudah alih: Susceptor bersalut CVD SiC ialah bahagian penting HEMT untuk melengkapkan proses epitaxial GaN-on-SiC.
Pemprosesan Semikonduktor: Susceptor bersalut CVD SiC digunakan dalam industri semikonduktor untuk pelbagai aplikasi, termasuk pemprosesan wafer dan pertumbuhan epitaxial.
Komponen grafit bersalut SiC
Diperbuat oleh grafit Salutan Silikon Karbida (SiC), salutan digunakan dengan kaedah CVD untuk gred tertentu grafit berketumpatan tinggi, supaya ia boleh beroperasi dalam relau suhu tinggi dengan lebih 3000 °C dalam suasana lengai, 2200°C dalam vakum .
Ciri khas dan jisim bahan yang rendah membolehkan kadar pemanasan yang cepat, pengagihan suhu seragam dan ketepatan yang luar biasa dalam kawalan.
Data bahan Salutan Semicorex SiC
Sifat tipikal |
Unit |
Nilai |
Struktur |
|
fasa FCC β |
Orientasi |
Pecahan (%) |
111 diutamakan |
Ketumpatan pukal |
g/cm³ |
3.21 |
Kekerasan |
Kekerasan Vickers |
2500 |
Kapasiti Haba |
J kg-1 K-1 |
640 |
Pengembangan terma 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Modulus Muda |
Gpa (4pt selekoh, 1300℃) |
430 |
Saiz Bijirin |
μm |
2~10 |
Suhu Sublimasi |
℃ |
2700 |
Kekuatan Feleksural |
MPa (RT 4 mata) |
415 |
Kekonduksian terma |
(W/mK) |
300 |
Kesimpulan Suseptor bersalut CVD SiC ialah bahan komposit yang menggabungkan sifat suseptor dan silikon karbida. Bahan ini mempunyai sifat unik, termasuk suhu tinggi dan rintangan kimia, rintangan haus yang sangat baik, kekonduksian haba yang tinggi, dan kekuatan dan kekakuan yang tinggi. Ciri-ciri ini menjadikannya bahan yang menarik untuk pelbagai aplikasi suhu tinggi, termasuk pemprosesan semikonduktor, pemprosesan kimia, rawatan haba, pembuatan sel solar dan pembuatan LED.
Dengan takat lebur yang tinggi, rintangan pengoksidaan dan rintangan kakisan, Susceptor Pertumbuhan Kristal Bersalut Semicorex SiC ialah pilihan ideal untuk digunakan dalam aplikasi pertumbuhan kristal tunggal. Salutan silikon karbidanya memberikan sifat kerataan dan pengagihan haba yang sangat baik, menjadikannya pilihan ideal untuk persekitaran suhu tinggi.
Baca LagiHantar PertanyaanJika anda memerlukan susceptor grafit yang boleh berfungsi dengan pasti dan konsisten walaupun dalam persekitaran suhu tinggi dan menghakis yang paling menuntut, Semicorex Barrel Susceptor untuk Epitaksi Fasa Cecair adalah pilihan yang tepat. Salutan silikon karbidanya memberikan kekonduksian haba dan pengagihan haba yang sangat baik, memastikan prestasi luar biasa dalam aplikasi pembuatan semikonduktor.
Baca LagiHantar PertanyaanTong Grafit Bersalut Silikon Karbida Semicorex ialah pilihan yang sempurna untuk aplikasi pembuatan semikonduktor yang memerlukan rintangan haba dan kakisan yang tinggi. Kekonduksian haba yang luar biasa dan sifat pengagihan haba menjadikannya sesuai untuk digunakan dalam proses LPE dan persekitaran suhu tinggi yang lain.
Baca LagiHantar PertanyaanDengan ketumpatan dan kekonduksian haba yang sangat baik, Susceptor Tong Bersalut SiC Tahan Lama Semicorex ialah pilihan ideal untuk digunakan dalam proses epitaxial dan aplikasi pembuatan semikonduktor lain. Salutan SiC ketulenan tingginya memberikan perlindungan unggul dan sifat pengagihan haba, menjadikannya pilihan utama untuk hasil yang boleh dipercayai dan konsisten.
Baca LagiHantar PertanyaanApabila bercakap tentang pembuatan semikonduktor, Susceptor Barrel Bersalut SiC Suhu Tinggi Semicorex ialah pilihan utama untuk prestasi dan kebolehpercayaan yang unggul. Salutan SiC berkualiti tinggi dan kekonduksian terma yang luar biasa menjadikannya sesuai untuk digunakan walaupun dalam persekitaran suhu tinggi dan menghakis yang paling menuntut.
Baca LagiHantar PertanyaanDengan takat lebur yang tinggi, rintangan pengoksidaan dan rintangan kakisan, Susceptor Barrel Bersalut Semicorex SiC ialah pilihan yang tepat untuk digunakan dalam aplikasi pertumbuhan kristal tunggal. Salutan silikon karbidanya memberikan sifat kerataan dan pengagihan haba yang luar biasa, memastikan prestasi yang boleh dipercayai dan konsisten walaupun dalam persekitaran suhu tinggi yang paling mencabar.
Baca LagiHantar Pertanyaan